




坩埚的夹取
1. 坩埚夹钳的尺寸必须和坩埚大小相匹配,且夹钳内部必须全部接触坩埚
2. 夹钳在夹取坩埚过程中把柄不能对坩埚的上沿有挤压,
3. 夹钳夹取坩埚的中部偏下位置,使整个坩埚受力均匀。
以上几点如不注意,容易过早的损坏坩埚或造成安全事故
火焰的控制
1. 火焰的高度与底座持平,沿底座的切线方向进入,先绕过底座,坩埚多少钱,然后围绕坩埚盘旋上升。
2. 为保护坩埚釉层,粘土坩埚,避免坩埚氧化,火焰应为轻微的氧化性气氛(燃油炉的火焰头部呈现淡绿色)。
3. 为---坩埚整体的均匀加热,避免某个部位过热,应使用合适的燃烧器和燃烧喷嘴,且火力不能过大。
目前,国内石英坩埚生产企业生产中使用的生产设备及工艺技术全部源于上世纪70年代初锦州155厂从日本引进的生产设备及工艺技术,该项技术设备自动化程度不高,整个生产过程中更多的依靠人工来实现,现在国内新上的坩埚生产设备都已经往自动化发展。坩埚的发展还是很快的。
石英坩埚可在1450度以下使用,分透明和不透明两种。用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅,周口坩埚,发展---集成电路必不可少的基础材料。当今,半导体工业发达已用此坩埚取代了小的透明石英坩埚。他具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、稳定等优点。
坩埚的安装
一、 安装坩埚前,必须先检查炉膛内部:炉壁和炉底应该是完好无损,没有金属或炉渣附着。如果炉壁或炉底附着水泥或炉渣,必须要进行清理。否则火焰的前进会受到阻碍而使火焰方向发生偏转,从而造成坩埚局部受热过度,在坩埚壁上发生氧化或产生小洞。
二、 坩埚的底部支撑:
1.安装坩埚时,坩埚的底部支撑必须使用足够大的且圆柱形底座,底座的直径至少要与坩埚的底部相同,略大2-3cm,坩埚价格,且底座高度略高于出火口,从而防止火焰直接烧到坩埚底部。造成底部材料迅速被侵蚀,坩埚变成锥形,或由于坩埚底部受力不均而使坩埚开裂。
2.为防止坩埚与底座粘连,可以在坩埚与底座间放一层隔离物(如:细耐火砂或纸板。)

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